亚微米级超精密固晶平台

AMICRA NANO

AMICRA NANO 是面向光子器件、共封装光学(CPO)和高速光互联应用的超精密芯片贴装与倒装键合平台。设备具备 ±0.2 μm 贴装精度,适用于高速光收发器、硅光子器件、CPO 模块、AI 加速器和数据中心光互联相关组件的精密集成。

奥芯明

产品特点

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以 ±0.2 μm 贴装精度支持光电组件的低损耗集成

亚微米级贴装与光学耦合
在硅光、光收发器和共封装光学应用中,激光器、探测器、光芯片与电子组件之间的微小位置偏差都会影响耦合效率和链路损耗。AMICRA NANO 以 ±0.2 μm (3σ) 贴装精度完成光子与电子器件的精密集成,适用于高带宽、低损耗光互联制造。

多种光子封装工艺适配
AMICRA NANO支持芯片贴装(die attach)、倒装键合(flip-chip bonding)和共晶键合(eutectic bonding),可适配芯片到晶圆、芯片到芯片、芯片到基板等集成形式。设备结合高稳定平台、高分辨率成像、动态对位和激光加热能力,支持光子器件封装中的定位、加热与键合过程控制。

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