银/铜烧结预贴片系统
FORCE VECTOR
FORCE VECTOR是面向银/铜烧结工艺的预贴片(die tacking)解决方案,用于在最终烧结前完成芯片、夹片和组件的精密预贴装。设备适用于碳化硅(SiC)功率模块和混合功率模块制造,可与 SilverSAM PRO 等烧结平台形成前后道工艺配合。
产品特点
在烧结前完成高精度预贴装,支撑功率模块互连结构稳定成形。
面向银/铜烧结的预贴片控制
FORCE VECTOR设备配备加热热压键合头和加热工作台,工作温度可达 200°C 以上,可用于银(Ag)和铜(Cu)烧结前的芯片、夹片及组件预贴装。该工艺有助于在最终烧结前保持器件位置和界面状态稳定。
多物料输入与功率模块自动化生产
设备可支持晶圆、卷带、华夫盒、JEDEC 托盘等输入形式,并结合自动换刀、薄芯片处理和自动银膜处理能力,适配多芯片功率模块和汽车/工业功率器件制造中的自动化生产需求。